10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.011
ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计与实现
介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构,以及一些重要功能模块的实现方法和特点.总结了一些精密半导体专用设备的开发经验,为设计和开发机电设备的控制系统提供一些思路和方法.
ZSH5型划片机、模块化设计、闭环控制
37
TN305.1(半导体技术)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
49-51
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10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.011
ZSH5型划片机、模块化设计、闭环控制
37
TN305.1(半导体技术)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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