测量机精度——纳米级新技术
半导体工业的集中化程度在不断提高,半导体结构越来越精细,因此其生产过程和其测量及检测过程需要更高的纳米级定位精度.导轨方向误差和热膨胀导致的测量误差现在仍无法通过计算进行补偿,但可被新型测量设备确定并将其大幅减小."要改变,必须先测量.
测量机、纳米级、精度、测量误差
37
TH741(仪器、仪表)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
46-48
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测量机、纳米级、精度、测量误差
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TH741(仪器、仪表)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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