10.3969/j.issn.1004-4507.2008.07.007
LTCC低温共烧陶瓷热切刀体控制探讨
对LTCC(低温共烧陶瓷)的热切割工艺过程进行论述,探讨了热切刀体和工作台的结构设计,分析了刀体和工作台的运动方式以及热切刀体的速度控制特点,提出了刀体加减速控制方法,成功实现了对LTCC热切刀体的高精度和高速度控制,实验证明,通过对刀体的运动进行曲线加减速控制,显著提高了切割效率、稳定性和一致性.
LTCC、S曲线、热切
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TN305.5(半导体技术)
2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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