10.3969/j.issn.1004-4507.2008.03.009
氢气的吸附式纯化技术和钯膜技术之间比较
为了比较Aeronex Gatekeeper纯化器和钯膜技术对移除氢气中的污染物的效率.超纯的氢气需求成倍的增长是第二代硅晶,是化合物半导体制程中必须的,如硅晶体的外延,MOCVD制程和第Ⅲ-V代化合物.
氢气、纯化、钯膜技术、污染物
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TN304.055(半导体技术)
2008-05-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
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10.3969/j.issn.1004-4507.2008.03.009
氢气、纯化、钯膜技术、污染物
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TN304.055(半导体技术)
2008-05-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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