10.3969/j.issn.1004-4507.2008.02.005
TDR系列晶体生长设备速度跑合系统
主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点.本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要.
坩埚速度系统跑合、籽晶速度系统跑合、操作装置、检测报警装置、晶体生长设备
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TN806.9(无线电设备、电信设备)
2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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