10.3969/j.issn.1004-4507.2008.02.001
NSR-1755i7A投影光刻机自动对准故障分析
在半导体设备当中投影光刻机应是最为精密复杂的设备,其维修工作具有高度的技术性.论述了NSR1755i7A投影光刻机自动对准系统的工作原理,并分析了两例自动对准系统故障和排除故障的过程,最后提出对此类故障检查的一般原则.
分步重复、双频激光干涉、LSA
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TN305.7(半导体技术)
2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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