10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.012
华飞微电子:国产高档光刻胶的先行者
@@ 光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料,在光刻胶的高端领域,技术一直为美国、日本厂商等所垄断;近年来,本土光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产,苏州华飞微电子材料有限公司即是其中之一.
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TN3;TP3
2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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