10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.008
应用四连杆机构的粘片机键合头设计
键合头为粘片机上的关键部件,需要精确、平稳地往返于拾片和粘片位置,实现芯片的拾取、传送和粘接等动作.分析了粘片机用键合头机构的作用及性能要求,介绍了曲柄摇杆机构在粘片机键合头设计上的应用.
键合头、粘片机、拾片、粘片、曲柄摇杆机构
36
TN305(半导体技术)
2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
40-42,48
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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.008
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TN305(半导体技术)
2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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