10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.005
超声键合换能系统支承状态下导纳特性测量
分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况.分析了压电换能器的等效电路,通过压电换能器的导纳圆图,确定换能器各参数的变化情况.
超声键合换能系统、等效电路、导纳、导纳圆
36
TN305.93(半导体技术)
2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
26-31
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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.005
超声键合换能系统、等效电路、导纳、导纳圆
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TN305.93(半导体技术)
2008-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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