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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.09.008

聚焦离子束装置中的图形发生器

引用
聚焦离子束技术(FIB)是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.几十年来,随着关键技术的不断突破和完善,达到了前所未有的发展,所突破的关键技术之一就是图形发生器的使用.

聚焦离子束、图形发生器、微纳加工

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TN305(半导体技术)

2007-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1004-4507

62-1077/TN

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2007,36(9)

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