10.3969/j.issn.1004-4507.2007.09.008
聚焦离子束装置中的图形发生器
聚焦离子束技术(FIB)是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.几十年来,随着关键技术的不断突破和完善,达到了前所未有的发展,所突破的关键技术之一就是图形发生器的使用.
聚焦离子束、图形发生器、微纳加工
36
TN305(半导体技术)
2007-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
25-29
10.3969/j.issn.1004-4507.2007.09.008
聚焦离子束、图形发生器、微纳加工
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TN305(半导体技术)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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