10.3969/j.issn.1004-4507.2007.09.006
卧式PECVD在太阳能行业的应用
介绍了一种用于太阳能行业淀种氨化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备,叙述了该设备的结构组成,并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进.
PECVD、氨化硅薄膜、工艺、改进
36
TN305(半导体技术)
2007-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
16-19,38
10.3969/j.issn.1004-4507.2007.09.006
PECVD、氨化硅薄膜、工艺、改进
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TN305(半导体技术)
2007-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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