10.3969/j.issn.1004-4507.2007.06.010
半导体设备中的抗干扰技术
简要分析半导体设备中干扰产生的原因、危害及一般抗干扰的原则;从干扰形成的三要素入手,重点介绍半导体设备设计、制造及维修中一些行之有效的抗干扰的方法.
干扰源、干扰途径、干扰易受体、抗干扰措施
36
TN972
2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
40-43
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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.06.010
干扰源、干扰途径、干扰易受体、抗干扰措施
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TN972
2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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