10.3969/j.issn.1004-4507.2007.04.006
一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术
楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一,它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面,提供给对准工作台进行对准操作.对涉及该技术的气浮轴承设计、小孔截流技术、材料的选择、加工及处理等作了详细的论述.
楔形误差补偿、气浮轴承、小孔节流
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TH112.7
2007-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
22-24
10.3969/j.issn.1004-4507.2007.04.006
楔形误差补偿、气浮轴承、小孔节流
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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