10.3969/j.issn.1004-4507.2007.02.009
全自动划片机的关键技术研究
根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施.
空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗
36
TN305.2(半导体技术)
2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
28-32,38
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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.02.009
空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗
36
TN305.2(半导体技术)
2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
28-32,38
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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