10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.014
高速粘片机晶片工作台的电机选型计算与运动控制
论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制.
高速粘片机、电机选型计算、运动控制技术、双反馈
36
TM921
2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
66-70
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10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.014
高速粘片机、电机选型计算、运动控制技术、双反馈
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TM921
2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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