10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.005
电磁驱动RF MEMS开关的研究状况
RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件.电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点.
RF MEMS技术、RF MEMS开关、电磁驱动、工作电压、驱动力
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TP271+.4(自动化技术及设备)
国家自然科学基金60576053;国家高技术研究发展计划863计划2005AA404210;中国科学院微电子所所长基金
2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
18-20,30
