10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.002
基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景.
非制冷红外成像、MEMS、双材料微悬臂梁阵列、光学读出
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TP271+.4(自动化技术及设备)
国家高技术研究发展计划863计划2005AA404210
2007-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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