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10.3969/j.issn.1004-4507.2006.12.008

固晶粘合剂在晶圆背面的涂覆

引用
在晶圆背面涂覆中,用于晶圆背面涂覆的黏性粘合剂以浆料形式提供并干燥.与粘贴薄膜相比较其优点包括成本减少20%~30%,键合线厚度可控并可获得较高的生产效率.

晶圆背面涂覆、黏性粘合剂、丝网印刷

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TN4(微电子学、集成电路(IC))

2007-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1004-4507

62-1077/TN

35

2006,35(12)

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