10.3969/j.issn.1004-4507.2006.08.003
调研我国等离子体材料处理方面的教材情况
在调研世界和我国等离子体刻蚀技术的发展现状的基础上,分析我国急需培养的等离子体材料处理方面的几类不同人才;然后对培养不同人才所需要的教材提出不同的理想指标;最后根据这个理想框架,重点对市面上销售的主要中文、英文相关书籍进行分析比较,列出其主要内容和适合阅读对象,希望读者能够方便地选择出适合自己的教材.调研结果表明,中文相关书籍基本上都不适合作为教材使用,而英文相关书籍是我们值得学习借鉴的.
集成电路、等离子体刻蚀技术、人才、教材
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O53(等离子体物理学)
2006-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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