10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.008
日本近年RF MEMS开关研究的进展
RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RF MEMS的执行机构.静电执行器驱动的RF MEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件.
射频表面微机械系统、高频开关、高频继电器
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TN564
中国科学院资助项目60576053;国家科技攻关项目2005AA404210
2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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