10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.007
MEMS中的簿膜制造技术
追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.
微机电系统、薄膜淀积、PVD、CVD、电镀、物理淀积
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
中国科学院资助项目60576053;国家科技攻关项目2005AA404210
2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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