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10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.004

应用于流动控制的MEMS传感器和执行器

引用
出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域.利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器.实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺.

微电子机械系统(MEMS)、剪切应力传感器、射流执行器、流体

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TP212.9(自动化技术及设备)

中国科学院资助项目60576053;高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2005AA404210

2006-03-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

25-27,62

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

35

2006,35(1)

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