10.3969/j.issn.1004-4507.2005.02.014
基于零部件的FMEA在光刻机研发中的应用
现代光刻机集机械、材料、光学、控制、计算机等学科前沿技术为一体,具有高速高精度和结构复杂的特点,大大增加了实现光刻机高性能高可靠性的难度.论述了采用FMEA对光刻机可靠性的研究,总结了应用FMEA方法进行光刻机系统分析的步骤和流程,最后应用该方法对光刻机整机系统进行了可靠性分析和评估.
FMEA、可靠性评估、失效形式、光刻机
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TN306(半导体技术)
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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