10.3969/j.issn.1004-4507.2005.02.013
电子级高纯气体输送系统
从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等.
高纯气体、纯化、输送系统、微量污染
34
TQ028.2+6(一般性问题)
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
56-58
10.3969/j.issn.1004-4507.2005.02.013
高纯气体、纯化、输送系统、微量污染
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TQ028.2+6(一般性问题)
2005-04-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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