10.3969/j.issn.1004-4507.2005.02.007
基于低能电子束的光刻技术
讨论了聚焦电子束曝光中的邻近效应问题,阐述了扫描隧道显微镜的原理和工作方式.把扫描隧道显微技术用于低能电子束的光刻,不仅能提高图形的分辨率,而且使电子束加工工艺不再局限于真空环境.对曝光电子的能量和线条宽度之间的关系进行了分析.
扫描隧道显微镜、电子束曝光、隧道效应、场发射
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TN16;TH742(真空电子技术)
国家自然科学基金90307003;山东省自然科学基金Y2003G03;山东省科技攻关项目022090105
2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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