10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.004
悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展
随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.
扫描隧道显微镜、MEMS、微尖端、悬臂梁
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TN40(微电子学、集成电路（IC）)
国家重点基础研究发展计划973计划2002CB311907;国家自然科学基金60236010,60376020
2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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