10.3969/j.issn.1004-4507.2004.07.016
半导体制造中的设备效率(OEE)
在半导体制造车间中,设备是非常昂贵的,设备折旧与维修占生产成本组成的最大比重,设备效率的提高显得尤为重要.为了更好地控制设备效率,国际半导体设备与材料组织(SEMI)提出了一种能准确计算设备效率的方法-全面设备效率(OEE).针对0EE做简要概述,着重论述其在半导体制造厂的实际应用.
半导体设备、制造车间、效率、实际应用、生产成本、设备折旧、控制设备、计算设备、材料组织、制造厂、组成、维修、方法、比重
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TP3;F40
2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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