10.3969/j.issn.1004-4507.2004.07.013
MOCVD系统中压力和压差控制技术研究
介绍了压力和压差控制在MOCVD系统[1]中的作用,比较了两种不同的压力和压差控制技术的优缺点,解析了国际上此类设备中压力和压差控制有关技术特点,以及用国产质量流量控制器和压力、压差传感器为主要部件研制的压力、压差控制器,在ZnO生长的MOCVD设备中良好的效果.
MOCVD、压力、压差、控制技术
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TN304.055(半导体技术)
2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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