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用于TFT-LCD生产线的新一代PECVD和PVD系统

引用
在2003年11月28~31日于日本YoKohama举办的FPD展览会上展示了最大尺寸的aSi淀积基板,这种基板可满足在一块基板上生产40英寸电视的要求.从而表明大尺寸TFT-LCD 电视的新纪元正在来临.从原理、系统结构、基板传输(外部和内部)、工艺概述了用于TFT-LCD生产线的第6代和第7代PECVD和PVD系统的腔室等方面新技术方案.讨论了用于TFTLCD生产的PECVD和PVD系统的未来趋势.

TFT-LCD基板、PECVD PVD系统、薄膜淀积、发展趋势

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TN304.055(半导体技术)

2004-07-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1004-4507

62-1077/TN

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2004,33(4)

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