应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战.为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段.本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低.关于安装和工艺判定随项目的结果评述.
标准机械接口(SMIF)、SMIF小室、自动物料处理系统(AMHS)、SMIF围护、SMIF标识符
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TN305(半导体技术)
2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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