10.3969/j.issn.1004-4507.2004.03.007
解读ITRS 2002 Lithography
@@ 国际半导体技术发展路线(TheInternational Technology Roadmapfor Semiconductor)2002年版是在其前身ITRS 2001的基础上修改和推出的,是根据技术发展的历史去推测今后近期乃至中远期(15年)的发展趋势来论述应采取的对策的一本战略参考书.它是对1992年美国半导体工业协会(SIA)编制的<国家半导体技术发展路线>的不断修订和发展演变成指导全球半导体技术发展的战略规划.
技术发展路线、半导体、战略规划、工业协会、发展演变、发展趋势、中远期、参考书、修订、推测、美国、历史、基础、国家、对策、编制
33
TN3(半导体技术)
2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
16-21
