10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.007
先进ATHENATM选用策略与对准功能
基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响.介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套和对准标的设计.
对准系统、多组光栅标、化学机械抛光、晶圆对位
33
TN305.7(半导体技术)
2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共8页
28-35
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10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.007
对准系统、多组光栅标、化学机械抛光、晶圆对位
33
TN305.7(半导体技术)
2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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