10.3969/j.issn.1004-4507.2004.01.005
基于薄膜结构的MEMS技术研究
报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作.
氮化硅、悬臂梁微结构、微电子机械系统、有限元模拟、红外焦平面成像
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TN371+.2(半导体技术)
2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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