10.3969/j.issn.1004-4507.2003.01.015
TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析
随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考.
单晶炉、人工晶体、硅单晶
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TF806.9(有色金属冶炼)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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