10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.013
低温冷凝泵的结构和维护
分析了低温冷凝泵的工作原理和内部结构,并结合实际工作经验详细叙述了泵的维护和再生过程以及在电子束蒸发台上的应用.
低温冷凝泵、结构、维护、应用
31
TN38(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
246-248
10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.013
低温冷凝泵、结构、维护、应用
31
TN38(半导体技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
246-248
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn