10.3969/j.issn.1004-4507.2002.03.001
液晶显示器技术及其曝光设备(续)
介绍了LCD器件类型和生产线概况及器件市场与发展现状,根据LCD器件对曝光设备的工艺特点,重点介绍了几种用于LCD制造的曝光设备,结合LCD器件目前的发展趋势,讨论了曝光设备面临的新课题.
LCD器件、LCD市场、LCD生产线、发展趋势、曝光设备
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TN141.9(真空电子技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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