10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.009
半导体设备回转构件平衡技术分析
随着国内半导体设备行业技术的迅速发展,对回转构件的平衡精度要求越来越高,尤其在硅加工行业中表现尤为突出,针对半导体设备的平衡精度要求,系统阐述了机械平衡的重要性,工程设计中平衡精度选择方式,刚性回转构件的平衡计算以及在实践中对一般、特殊转子的动静平衡方法.
半导体、设备、回转构件、平衡
31
TN305.1(半导体技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
100-102
