世界主要设备市场将继续增长
据美国市场调查数据公司(Dataquest)对1999-2002年设备部分复合年均增长率的市场预测表明，2001年片子制造设备费用由2000年的300亿美元增长到390亿美元，芯片的基本费用将增长25％～30％。Dataquest分析家指出，2001年将有大量的生产线破土兴建。截止去年7月，已有24条生产线破土动工或拟定在年底动工。根据业界宣布的消息，如果半导体产业要满足期望的要求，在今年和明年间还将宣布20多条生产线。在φ200mm圆片加工技术继续大量供应半导体产业的同时，φ300mm圆片加工技术正加快进入生产线。Dataquest预测，在2001年，φ300mm制造设备的销售将达到102亿美元。在1999-2002年期间，最火热的设备领域是铜电化学淀积设备，其复合年增长率(CAGR)将达70％，其次为旋转淀积设备，其复合年增长率超过50％，生产线自动化设备超过40％，注入设备接近40％，溅射设备的CAGR为37％，快速热处理/扩散炉的CAGR为35％，片子步进机的CAGR为32％，管式CVD设备的CAGR为32％，蚀刻设备的CAGR为31％，化学机械抛光设备的CAGR为30％，非管式CVD设备的CAGR为26％。来源：Datapuest
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2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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