ASML公司推出0.12μm分辨率的248 nm KrF光刻设备
最近，ASML公司推出了其最新开发的PAS 5500/800型远紫外步进扫描系统，该机具有0.12μm分辨能力，其数值孔径达0.80，是至今世界上最大数值孔径的远紫外步进扫描光刻设备，可生产φ200mm圆片115片/h。新设备采用了瑞士Carl Zeiss公司提供的新型Starlith800型透镜。PAS 5500/800系统的第一台生产机器安排在今年6月发货。
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TN3;TN9
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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