10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.005
UV-LIGA光刻设备研究
近几年来微型机电系统(MEMS)的研究得到了高速的发展,而MEMS的工艺基础是微细加工技术.针对电铸(LIGA)技术所存在的缺点提出了紫外光电铸(UV-LIGA)技术,并研制了用于UV-LIGA技术的光刻设备.其中介绍了整机的设计要点、所解决的关键单元技术和实验结果.
LIGA技术、UV-LIGA技术、光刻设备
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TN305.7(半导体技术)
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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