10.3969/j.issn.1672-5468.2022.S1.009
测试失误引起的集成电路失效分析及预防措施
器件测试是发现集成电路潜在缺陷的关键步骤,但由于操作不当,也有可能引入新的失效.通过一个典型的失效案例,分析了器件测试过程中操作人员的不正确操作对器件失效的影响.通过分析器件测试过程中的各个环节因素,识别出器件测试过程中带电操作和使用金属镊子等不合规操作对器件的损伤,阐述了由此引起的器件过电应力失效机理,并提出了预防和控制此类失效的有效措施,对于提高器件的可靠性具有重要的意义.
集成电路、器件测试、失效机理、失效分析、过电应力
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TN43(微电子学、集成电路（IC）)
2022-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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