10.3969/j.issn.1672-5468.2021.05.004
气氛置换法对缓解硅铝封装氦气吸附影响研究
为了有效地缓解铝硅材料表面的氦气吸附,保证铝硅封装器件密封试验结果的准确性,创新性地提出使用非示踪气体置换硅铝表面吸附氦气的方法.通过比对不同置换气体对氦气去吸附效果的影响,可以发现二氧化碳的去除效率最高,其次是氩气,氮气的效果较差.但二氧化碳的渗入,有可能导致器件内部气氛超标进而导致失效,因此优先推荐氩气作为置换气体.
硅铝封装;密封;细检漏;气氛置换法
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F407.63(工业经济理论)
2021-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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