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10.3969/j.issn.1672-5468.2020.04.026

纳米pMOSFET上考虑涨落的NBTI测试方法新进展

引用
回顾了纳米pMOSFET上考虑涨落的NBTI测试方法的新进展.首先,简单地介绍了5种传统的NBTI测试方法:准静态直流完整Id-Vg测试法、在线测试法、单点Id测试法、延伸厶测试法和超快脉冲测试法,并分别分析了他们各自的优缺点;然后,阐述了由于pMOSFET尺寸缩小到纳米尺度后带来的涨落效应对传统的NBTI测试方法的挑战;最后,详细地介绍了纳米pMOSFE上的3种考虑涨落的NBTI测试新方法,即随机电报噪声、时间相关缺陷谱和器件内部波动.

纳米PMOSFET、涨落、负偏压温度不稳定性

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TN47(微电子学、集成电路(IC))

广东省重点领域研发计划项目No.2019B010145001

2020-11-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共8页

118-125

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1672-5468

44-1412/TN

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2020,38(4)

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