10.3969/j.issn.1672-5468.2018.01.008
关于MEMS器件失效机理的讨论
近年来,国内外在MEMS器件的失效机理和可靠性方面做了大量的研究.概述了MEMS器件中常见的失效模式及其失效机理,包括粘附、 磨损、 金属蠕变、 脆性断裂、 分层和碎屑污染,并讨论了金属薄膜与其宏观部件在机械特性上的区别,以及金属断裂与脆性材料断裂的不同失效机理.
微机电系统、粘附、金属蠕变、分层、碎屑污染
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TP211+.4(自动化技术及设备)
2018-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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