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10.3969/j.issn.1672-5468.2013.06.002

去除吸附氦试验及相关标准分析

引用
介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氮试验,吸附氮漏率的测试是在Inficon公司Pemicka 700H型积累氮质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的,给出了试验数据、拟合模式和结果,进而分析了最新的美国军用标准MIL-STD-750-1/883J氦质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可检测性,并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案.

氦质谱检漏、去除吸附氮、拟合模式、美军标分析

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TB774(真空技术)

2014-02-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1672-5468

44-1412/TN

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2013,31(6)

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