10.3969/j.issn.1672-5468.2011.01.006
存在不稳定失效现象光耦的失效分析研究
光电耦合器4N55/883B发生一例两管腿间阻值小稳定的失效,并且在进行失效分析的过程中,该失效现象消失.经过运用一系列的失效分析技术方法进行试验,并结合理论分析,最终确认了该失效案例的失效机理,明确了失效原因,得到该失效为过电应力导致器件烧毁失效的结论.采用了包括图示仪检测、X光检查、扫描电子显微镜(SEM)检查、能量散射谱(EDS)分析以及聚焦离子束(FIB)制样等先进的分析技术和方法,对其它半导体器件的失效分析也有借鉴作用.
光电耦合器、不稳定失效现象、失效分析
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TN15(真空电子技术)
2011-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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