关键词：微电子机械系统、可靠性、微机械加速度计

所属期刊栏目：24

分类号：TN389;TP271+.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金6140437

在线出版日期：2006-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67