10.3969/j.issn.1672-5468.2005.z1.015
VLSI失效分析技术研究进展
根据近年来的实践,介绍了亚微米/深亚微米多层布线结构的VLSI的失效分析的关键技术和加快失效分析程序的方法.包括:先进的芯片剥层技术和局部剖切面技术、以失效分析为目的的电测试技术和故障定位技术及其简化方法.通过一些失效分析实例说明了研究上述关键技术的有效性.
大规模集成电路、失效分析、样品制备技术
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TN47.06(微电子学、集成电路（IC）)
2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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