关键词：金属-氧化物-半导体、器件尺寸、辐照效应

所属期刊栏目：23

分类号：TN306(半导体技术)

资助基金：国家重点实验室基金51433030404DZ1501

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24