10.3969/j.issn.1672-5468.2005.04.001
集成电路失效分析新技术
通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面的工作提供参考.
集成电路、失效分析、无损分析
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TN43.06(微电子学、集成电路（IC）)
2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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10.3969/j.issn.1672-5468.2005.04.001
集成电路、失效分析、无损分析
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TN43.06(微电子学、集成电路（IC）)
2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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